Espectro Auger de una Superficie de Nitruro de Indio

El efecto Auger se pueden usar en estudios de superficie. La medición de las energías características de los electrones Auger, se puede utilizar para identificar los átomos que residen o están cerca de la superficie de un material sólido. Los espectros de abajo, implican la medición del número de electrones de la superficie como una función de la energía, mientras se bombardean con un haz de electrones de energía fija.

Rhudra Bhatta, en sus estudios sobre superficies de películas delgadas de nitruro de indio, utilizó espectroscopia de electrones Auger para detectar la presencia de contaminantes en la superficie, y para confirmar la eficacia de las medidas para eliminar esos contaminantes. El espectrómetro Auger bombardeó la superficie con electrones de 3000 eV, que eliminaron algunos electrones internos de los átomos cercanos a la superficie. Aunque los niveles de energía atómica de los átomos son significativamente perturbados por la presencia de otros átomos en el sólido, todavía son característicos de los elementos químicos, y habilitan a uno a detectar la presencia de átomos de esos elementos.

Después de haber detectado la presencia de átomos de carbono y de oxígeno en la superficie, además de los consabidos átomos de indio y de nitrógeno, el bombardeó la superficie con átomos de hidrógeno en una técnica llamada AHC o "limpieza con hidrógeno atómico". Esto eliminó el oxígeno de manera efectiva, pero dejó algo de carbono residual. Un segundo tratamiento consistió en un breve período de "rociado" con átomos de un filamento caliente. La espectroscopia Auger confirmó la eliminación eficaz de los contaminantes de carbono y de oxígeno.